Analisadores NO na fabricação de semicondutores

O analisador de NO modelo M17 da EcoPhysics oferece soluções para varios problemas associados com o controle de processo CMP (Chemical Mechanical Planarization) na fabricação de wafers de semicondutores. O principal método de controlar um processo CMP é monitorar a alteração de nitreto no “stop-layer” e o M17 foi projetado exatamente para este fim. O M17 foi desenvolvido pela EcoPhysics em cooperação com fabricantes de semicondutores e tem sido usado com sucesso nas linhas de desenvolvimento e de produção neste segmento desde 1996.

Programa de equipamentos disponíveis

Analisador	Componentes	Faixa	Aplicação
M17	Nitreto	10 ppt	Controle em processos CMP